发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung uniformer Schichten auf bewegten Substraten und derart hergestellte Schichten |
摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf die Abscheidung optischer Präzisionsschichten mit hoher Uniformität, Präzision, Partikelfreiheit und geringer Absorption auf dem Substrat. Dazu wird ein Verfahren und eine Vorrichtung vorgeschlagen. Ansatz ist die Verwendung von Targetmaterialien sowie ggf. von Oberflächen im Sputterbereich. Es wird eine besonders hohe Uniformität als auch eine besonders geringe Restabsorption mit diesen Materialien erreicht. Die Erfindung eignet sich zur Herstellung optischer Dünnschichtfilter, wie sie beispielsweise in der Laser-Materialbearbeitung, Laserkomponenten, optischen Sensoren für die Messtechnik, oder in der medizinischen Diagnostik zum Einsatz kommen. |
申请公布号 |
DE102013221029(A1) |
申请公布日期 |
2015.04.16 |
申请号 |
DE201310221029 |
申请日期 |
2013.10.16 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
VERGÖHL, MICHAEL;RADEMACHER, DANIEL;ZICKENROTT, TOBIAS |
分类号 |
C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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