摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Facettenelement (109) zur Nutzung als optische Komponente, die in einem Normalbetrieb an der Erzeugung einer optischen Abbildung unter Verwendung von Nutzlicht mit einer Nutzwellenlänge beteiligt ist, mit einem Elementkörper, der durch mehrere Seitenflächen begrenzt ist, wobei wenigstens eine der Seitenflächen als optisch wirksame Seitenfläche (109.1) ausgebildet ist, die optisch wirksame Seitenfläche (109.1) durch eine Randkontur (109.3) begrenzt ist und die optisch wirksame Seitenfläche (109.1) eine optische Fläche (109.4) umfasst, die innerhalb der Randkontur (109.3) angeordnet ist. Die optisch wirksame Seitenfläche (109.4) weist innerhalb der Randkontur (109.3) wenigstens eine Markierungseinrichtung (110) auf, die wenigstens eine Markierung (110.1 bis 110.5) umfasst, wobei die wenigstens eine Markierung (110.1 bis 110.5) der Markierungseinrichtung dazu ausgebildet sind, in einem Messbetrieb, der insbesondere von dem Normalbetrieb verschieden ist, von einer optischen Messeinrichtung unter Verwendung von Messlicht einer Messwellenlänge, die insbesondere von der Nutzwellenlänge verschieden ist, erfasst zu werden.</p> |
申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
WALD, CHRISTIAN;RUNDE, DANIEL;SCHNEIDER, SONJA;SCHNEIDER, RICARDA;WAGNER, HENDRIK;BITTNER, BORIS;PAULS, WALTER;SCHMIDT, HOLGER;WABRA, NORBERT |