发明名称 Integrierte Schaltung und Verfahren zum Herstellen einer integrierten Schaltung
摘要 Eine integrierte Schaltung (1) umfasst einen Transistor (200) in einem Halbleitersubstrat (100), das eine Hauptoberfläche (110) hat. Der Transistor (200) umfasst einen Sourcebereich (201), einen Drainbereich (205), einen Kanalbereich (220), eine Driftzone (260), eine Gateelektrode (210) und ein Gatedielektrikum (211) benachbart zu der Gateelektrode (210). Die Gateelektrode (210) ist benachbart zu wenigstens zwei Seiten des Kanalbereiches (220) angeordnet. Der Kanalbereich (220) und die Driftzone (260) sind längs einer ersten Richtung parallel zu der ersten Hauptoberfläche (110) zwischen dem Sourcebereich (201) und dem Drainbereich (205) vorgesehen. Das Gatedielektrikum (211) hat eine Dicke, die sich an verschiedenen Positionen bzw. Stellen der Gateelektrode (210) verändert.
申请公布号 DE102014113946(A1) 申请公布日期 2015.04.16
申请号 DE201410113946 申请日期 2014.09.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 VIELEMEYER, MARTIN;MEISER, ANDREAS;SCHLÖSSER, TILL;HIRLER, FRANZ;PÖLZL, MARTIN
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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