发明名称 |
Verfahren zum Betreiben eines chemisch sensitiven Feldeffekttransistors |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines chemisch sensitiven Feldeffekttransistors (1) mit einem Gate-Anschluss (2), dadurch gekennzeichnet, dass zumindest während des Betriebs des Feldeffekttransistors (1) zumindest in einem Teil des Feldeffekttransistors (1) wenigstens ein elektrisches Feld derart erzeugt wird, dass zumindest in einem an den Gate-Anschluss (2) angrenzenden Bereich des Feldeffekttransistors (1) vorhandene bewegliche Ionen in vorgebbaren Bereichen des Feldeffekttransistors (1) angereichert und dort gehalten werden. |
申请公布号 |
DE102013220849(A1) |
申请公布日期 |
2015.04.16 |
申请号 |
DE201310220849 |
申请日期 |
2013.10.15 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
GRAF, JUERGEN;GUILLEN, FRANCISCO HERNANDEZ |
分类号 |
G01N27/414;G01N27/12;H01L29/78 |
主分类号 |
G01N27/414 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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