基板処理装置,申请号JP20130214466-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	基板処理装置
摘要
申请公布号	JP5701958(B2)	申请公布日期	2015.04.15
申请号	JP20130214466	申请日期	2013.10.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065;H05H1/46	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
地址

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