发明名称 |
光学测量装置 |
摘要 |
本发明提供一种光学测量装置,可抑制来自测量对象表面或测量对象保持部的反射光的影响,得到测量对象的清晰的像。本发明的光学测量装置使从光源(301)出射的激光分束为信号光、参考光和控制光,利用物镜(309)使信号光会聚照射到测量对象(312)上。控制光由离焦控制部(316、317、318)控制离焦量,并由相位控制部(313、314)控制相位。使被测量对象反射或散射的信号光与控制光合束而生成被控信号光,并使被控信号光与参考光合束,利用干涉光学系统(333)生成相位关系彼此不同的多束干涉光,进行相位分集检测。 |
申请公布号 |
CN104515739A |
申请公布日期 |
2015.04.15 |
申请号 |
CN201410520617.6 |
申请日期 |
2014.09.30 |
申请人 |
日立乐金光科技株式会社 |
发明人 |
大泽贤太郎 |
分类号 |
G01N21/21(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/21(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种光学测量装置,其特征在于,包括:出射激光的光源;使所述激光分束为信号光、参考光和控制光的光分束部;使所述信号光会聚照射在测量对象上的物镜;使所述信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描部;控制所述控制光的离焦量的离焦控制部;控制所述控制光与信号光之间的相位差的相位控制部;使被测量对象反射或散射的信号光与所述控制光合束,生成被控信号光的被控信号光生成部;使所述被控信号光与所述参考光合束,生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统;和对所述干涉光进行检测的光检测器。 |
地址 |
日本东京都 |