| 发明名称 | 一种硅片取放装置 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种硅片取放装置，包括：吸盘；与所述吸盘连通的第一吸管；与所述第一吸管连通的握管；与所述握管连通的第二吸管；其中，所述第二吸管上端外部设置有气流调节部件，所述握管的侧壁设置有气流开关和刻度，且所述握管内部设置有独立的气流调节小球。利用本申请提供的一种硅片取放装置，能够单独对吸力进行精确调整，减少硅片的破碎或暗裂现象，从而减少生产损失。 | ||
| 申请公布号 | CN204271060U | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201420846995.9 | 申请日期 | 2014.12.26 |
| 申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 发明人 | 张春华;袁中存;孟祥熙;衡阳;许涛 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 罗满 |
| 主权项 | 一种硅片取放装置，其特征在于，包括：吸盘；与所述吸盘连通的第一吸管；与所述第一吸管连通的握管；与所述握管连通的第二吸管；其中，所述第二吸管上端外部设置有气流调节部件，所述握管的侧壁设置有气流开关和刻度，且所述握管内部设置有独立的气流调节小球。 | ||
| 地址 | 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 | ||