质量流量控制器系统及控制设备

摘要

本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。

主权项

一种质量流量控制器系统，包括：流量控制设备，使用基准气体得到了校准；以及控制设备，向所述流量控制设备输出流量设定值，其特征在于，所述控制设备包括：关系数据存储部，存储关系数据，该关系数据表示基准气体的流量值与试样气体的转换因子CF值的对应关系；基准气体流量换算部，使用规定的转换因子CF值将通过所述流量控制设备应该流过的试样气体的目标流量换算为基准气体流量；试样气体流量计算部，根据通过所述基准气体流量换算部得到的所述基准气体流量和与该基准气体流量对应的转换因子CF值计算出试样气体流量；以及转换因子CF值更新部，当通过所述试样气体流量计算部得到的试样气体流量和所述目标流量的差异超过规定范围时，更新在所述基准气体流量换算部或所述试样气体流量计算部中使用的转换因子CF值。