构建最优终点算法的方法

摘要

本发明提供了用于在等离子加工系统中的衬底加工过程中自动识别限定工艺终点的最优终点算法的方法。该方法包括在所述等离子加工系统内的至少一块衬底的衬底加工过程中，从多个传感器中获取传感器数据，其中所述传感器数据包括来自多个传感其通道的多个信号流。本发明还包括识别终点区域，其中所述终点区域是预期在其中出现所述工艺终点的近似时间段。该方法进一步包括分析所述传感器数据从而生成成组的潜在的终点特征。该方法还包括将所述成组的潜在的终点特征转换为成组的最优终点算法。该方法还进一步包括将所述成组的最优终点算法中的一个最优终点算法引入生产环境。

主权项

用于在等离子加工系统中的衬底加工过程中自动识别限定工艺终点的最优终点算法的方法，其包括：在所述等离子加工系统内的至少一块衬底的加工过程中，从多个传感器中获取传感器数据，其中所述传感器数据包括来自多个传感器通道的多个信号流；识别终点区域，其中所述终点区域是预期在其中出现所述工艺终点的近似时间段；基于时间间隔将所述多个信号流中的每个信号流划分为多个区段，其中通过对所述传感器数据实施线性拟合来执行所述划分；针对所述传感器数据计算第一成组的斜率和第一成组的对应的斜率噪音值，其中针对所述多个区段中的每个区段计算斜率和对应的斜率噪音值；计算所述第一成组的斜率中的斜率方差，以从所述多个信号流中识别第一成组的候选信号，其中所述第一成组的候选信号具有比所述多个信号流中的其它信号更高的斜率方差；将所述传感器数据中具有类似斜率方差的相邻波长测量结果结合，形成第一成组的信号波长带；将所述第一成组的候选信号分等级；将所述第一成组的信号波长带分等级；通过将成组的经典特征施加到所述第一成组的候选信号和所述第一成组的信号波长带的至少一部分，识别第一成组的潜在的终点特征，其中所述成组的经典特征包括峰特征、谷特征和拐点特征中的至少一种；将所述第一成组的潜在的终点特征转换成成组的终点算法；以及将作为所述最优终点算法的所述成组的终点算法的一个终点算法引入生产环境。