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发明名称 AIR BEARING DEVICE AND COATING DEVICE
摘要 <p>두께 정밀도나 평탄 정밀도를 높일 수 있는 에어 베어링 장치 및 당해 에어 베어링 장치를 구비하는 도포 장치를 제공한다. 기체를 토출하는 것에 의한 부상력에 의해 부상하는 패드부를 구비하고, 상기 패드부는 기체를 토출하기 위한 분출구가 설치되는 베어링면과, 상기 분출구로부터 토출되는 기체의 흐름 방향을 제어하는 기류 제어 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 에어 베어링 장치 및 당해 에어 베어링 장치를 구비하는 도포 장치.</p>
申请公布号 KR20150040924(A) 申请公布日期 2015.04.15
申请号 KR20157003630 申请日期 2013.06.21
申请人 发明人
分类号 F16C32/06;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/677 主分类号 F16C32/06
代理机构 代理人
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