手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置

摘要

本发明涉及机械手技术领域，提供了一种手指间距可调的机械手及其晶圆搬运装置。其中机械手包括：至少2个手指单元；至少2个调节杆，调节杆的一端与手指单元转动连接，调节杆（的另一端与第一滑块转动连接；第一滑块沿第一导轨运动，第一导轨沿手指单元的机械手指方向设置；手指单元的侧边设有第二导轨，第二导轨沿竖直方向设置，手指单元通过第二滑块沿第二导轨运动；第一滑块沿第一导轨运动，驱动调节杆转动呈收缩或放开状态，带动手指单元沿第二导轨做上下运动。本发明实现了对机械手指间距的有效调节。

主权项

一种手指间距可调的机械手，其特征在于，所述机械手包括：至少2个手指单元（10），每一手指单元（10）设有一机械手指（11）；至少2个调节杆（20），所述调节杆（20）的一端与手指单元（10）转动连接；第一滑块（30），所述调节杆（20）的另一端与第一滑块（30）转动连接；第一导轨（40），所述第一滑块（30）沿第一导轨（40）运动，第一导轨（40）沿手指单元（10）的机械手指（11）方向设置；所述手指单元（10）的侧边设有第二导轨（60），所述第二导轨（60）沿竖直方向设置且与第一导轨（40）垂直，手指单元（10）的侧边固定有第二滑块（50），手指单元（10）通过第二滑块（50）沿第二导轨（60）运动；所述第一滑块（30）沿第一导轨（40）运动，驱动调节杆（20）转动呈收缩或放开状态，带动手指单元（10）沿第二导轨（60）做上下运动。