一种柔性衬底上共蒸发制备高结合力吸收层的装置

摘要

本实用新型涉及一种柔性衬底上共蒸发制备高结合力吸收层的装置。本实用新型属于铜铟镓硒薄膜太阳电池技术领域。一种柔性衬底上共蒸发制备高结合力吸收层的装置，其特点是：柔性衬底上共蒸发制备高结合力吸收层的装置中真空蒸发腔室整体呈长方体形状，真空蒸发腔室一侧配置有抽真空机构，另一侧安装有电离规，用于测试腔室的压强，真空蒸发腔室上部安装有衬底加热机构，柔性衬底固定于衬底加热机构下方，真空蒸发腔室中自左至右均匀分布安装有5个蒸发源，第二个到第五个蒸发源上方均安装有挡板，每个蒸发源装有加热机构。本实用新型具有能够获得高结合力CIGS吸收层，能够有效提高柔性CIGS薄膜太阳电池的性能和成品率等优点。

主权项

一种柔性衬底上共蒸发制备高结合力吸收层的装置，其特征是：柔性衬底上共蒸发制备高结合力吸收层的装置中真空蒸发腔室整体呈长方体形状，真空蒸发腔室一侧配置有抽真空机构，另一侧安装有电离规，用于测试腔室的压强，真空蒸发腔室上部安装有衬底加热机构，柔性衬底固定于衬底加热机构下方，真空蒸发腔室中自左至右均匀分布安装有5个蒸发源，第二个到第五个蒸发源上方均安装有挡板，每个蒸发源装有加热机构。