| 发明名称 | 玻璃膜的制造方法及玻璃膜的处理方法以及玻璃膜层叠体 | ||
| 摘要 | 玻璃膜的制造方法，包括：第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成无机薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra达到2.0nm以下；第2工序，其中，在使表面粗糙度Ra为2.0nm以下的玻璃膜接触于所述无机薄膜的表面的状态下进行层叠，从而作为玻璃膜层叠体；第3工序，其中，对所述玻璃膜层叠体进行伴随加热的处理；和第4工序，其中，在所述伴随加热的处理后，将所述玻璃膜从所述支承玻璃上剥离。 | ||
| 申请公布号 | CN102471129B | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201080027614.9 | 申请日期 | 2010.09.14 |
| 申请人 | 日本电气硝子株式会社 | 发明人 | 笘本雅博;高谷辰弥;泷本博司;折口长敏 |
| 分类号 | C03B40/033(2006.01)I;B32B17/06(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;G09F9/00(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/02(2006.01)I | 主分类号 | C03B40/033(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 蒋亭 |
| 主权项 | 一种玻璃膜的制造方法，其特征在于，包括：第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成无机薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra达到2.0nm以下；第2工序，其中，在使表面粗糙度Ra为2.0nm以下的玻璃膜接触于所述无机薄膜的表面的状态下进行层叠，从而作为玻璃膜层叠体；第3工序，其中，对所述玻璃膜层叠体进行伴随加热的处理；和第4工序，其中，在所述伴随加热的处理后，将所述玻璃膜从所述支承玻璃上剥离，所述无机薄膜由选自ITO、Ti、Si、Au、Ag、Al、Cr、Cu、Mg、SiO、SiO<sub>2</sub>、Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、MgO、Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、La<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、Pr<sub>6</sub>O<sub>11</sub>、Sc<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、WO<sub>3</sub>、HfO<sub>2</sub>、In<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、ZrO<sub>2</sub>、Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>、Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>、CeO<sub>2</sub>、Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>、TiO、TiO<sub>2</sub>、Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>、NiO、ZnO中的1种或者2种以上形成，所述玻璃膜与所述支承玻璃以所述支承玻璃从所述玻璃膜的边缘部突出的状态进行层叠。 | ||
| 地址 | 日本国滋贺县 | ||