WAFER LEVEL INTEGRATED CIRCUIT CONTACTOR AND METHOD OF CONSTRUCTION

摘要

IC 회로의 웨이퍼 레벨 테스팅을 위한 테스팅 장치가 개시된다. 상부 및 하부 핀(22, 62)이 서로에 대해 상대적으로 슬라이딩하도록 구성되며, 엘라스토머(80)에 의해 전기적으로 바이어싱된 접촉이 유지된다. 상기 엘라스토머는 상부(22) 플레이트 및 하부(70) 사이에서 그것의 자연적 상태에서 사전압축된다. 사전압축은 상기 핀의 탄성 응답을 향상시킨다. 핀 크라운(40)은 플레이트(20)의 상한정지 면(90)에 대한 하나 이상의 플랜지(44a-b)의 결합에 의해 상대적으로 공면에 유지되며, 따라서 크라운의 평면성을 보장한다. 핀 가이드(12)는 등록 코너(506)의 설정 및 하나 이상의 대각 반대편 코너에서 엘라스토머에 의한 상기 코너로의 가이드의 구동으로써 리테이너(14)와 함께 정렬을 유지한다.