激光光源传输腔室的温控与净化控制方法和系统

摘要

本发明公开了一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，包括：设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，用于保证光路传输腔室气压与外界气压有微正压；以及设置在光路传输通道的模块腔体之后的节流阀，且每个模块腔体之后对应设置一个所述的节流阀，用于调节各模块腔室与环境大气压的压差。本发明还公开了相应的温控与净化控制方法。本发明的装置和方法通过控制腔体与外界的压差恒定，同时通过加热器和热交换器实现腔体的精确温度控制，从而满足激光光源对于传输腔室内气体的压力和温度的高精确性和稳定性需求。

主权项

一种激光光源的传输腔室内的温控与净化控制系统，用于实现激光光源中传输腔室内的各模块腔体的气体压力和温度的精确稳定控制，该系统包括：设置在光路传输通道的模块腔体之前的二级调压阀(5)，用于调节待进入模块腔体的通道中的气体压力；其特征在于，该系统还包括：设置在光路传输通道的气体净化装置和模块腔体之间的毛细管，且每个模块腔体之前对应设置一个所述的毛细管，用于保证光路传输腔室气压与外界气压有微正压；以及设置在光路传输通道的模块腔体之后的节流阀，且每个模块腔体之后对应设置一个所述的节流阀，用于调节各模块腔室与环境大气压的压差。