表面发射激光器、表面发射激光器阵列和图像形成装置

摘要

本发明提供表面发射激光器和分别包括表面发射激光器的表面发射激光器阵列和图像形成装置，所述表面发射激光器提供足够的光学输出并适于用作电子照相装置的光源。表面发射激光器在前反射镜的前表面上包含第一阶梯结构。在第一阶梯结构中，第一区域中的光路长度与第二区域中的光路长度之间的差值L满足下式：(1/4+N)λ<|L|<(3/4+N)λ，这里，N是整数。

主权项

一种被配置为以波长λ振荡的表面发射激光器，包括：基板；多层结构，所述多层结构被设置在所述基板上并且在所述多层结构中层叠了包含后反射镜、活性层和前反射镜的层；和第一阶梯结构，所述第一阶梯结构被设置在前反射镜的前表面上并包括在发光区域的中心部分中所定义的第一区域中延伸的部分和在定义于发光区域内的第一区域外侧的第二区域中延伸的部分，这些部分具有不同的高度，其中，关于从被定义于表面发射激光器的外侧并垂直于所述多层结构的层叠方向延伸的面到前反射镜的前表面的光路长度，第一区域中的光路长度与第二区域中的光路长度之间的差值L满足下式：(1/4+N)λ＜|L|＜(3/4+N)λ这里，N是整数，并且其中，第一阶梯结构在第一区域和第二区域中的每一个中具有为λ/2的整数倍的光学厚度。