一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置

摘要

一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，是由：墙体、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、短加热模块、短加热模块正极、短加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出孔、定位器构成；加热的结构及其方法简单，设计科学合理，使用方便、操作容易快捷；确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，节能环保。

主权项

一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，是由：墙体(1)、长加热模块(2)、长加热模块正极(2‑2)、长加热模块负极(2‑3)、短加热模块(3)、短加热模块正极(3‑2)、短加热模块负极(3‑3)、矩形加热模块(4)、正负极输入输出孔(4‑2)、定位器(5)构成；其特征在于：墙体(1)一侧的中部设置长加热模块组，长加热模块组的上方设置短加热模块组，下方设置矩形加热模块组。