单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构

摘要

本实用新型涉及单体真空镀膜领域，具体涉及单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构。该结构包括底板，设置于底板上的闭环运送机构和驱动该闭环运送机构的驱动机构，闭环运送机构上设有通过闭环运送机构运送的旋转组件，旋转组件的外侧上设有随旋转组件转动的三个以上的支杆，旋转组件上设有用于固定载片的固定组件，底板上闭环运送机构的一侧上还设有用于阻挡该支杆的阻挡组件。本实用新型通过使用闭环运送，能达到所有载片能固定的位置，通过将载片放置在转轴上，通过转轴上的支杆与挡块及档杆相互配合，可实现载片自动转动任意角度，解决现有技术中无法自动翻转的问题，从而达到正反面镀膜能在真空条件下一次性完成，成膜质量高。

主权项

单体真空镀膜设备转架载片的自动翻转结构，其特征在于：包括底板，设置于所述底板上的闭环运送机构和驱动该闭环运送机构的驱动机构，所述闭环运送机构上设有通过闭环运送机构运送的旋转组件，所述旋转组件的外侧上设有随旋转组件转动的三个以上的支杆，所述旋转组件上设有用于固定载片的固定组件，所述底板上闭环运送机构的一侧上还设有用于阻挡该支杆的阻挡组件。