起吊装置及自动化搬运系统

摘要

本发明披露一种起吊装置及自动化搬运系统，该起吊装置用于将一晶圆盒传送至一自动化搬运系统，该自动化搬运系统包含一悬吊式轨道及至少一位于该悬吊式轨道上的自动搬运车，该起吊装置包括一结合于该自动搬运车上的升降基座、多个悬吊组件及多个第一驱动组件。其特征在于，该升降基座具有一水平传感器，用以感测该升降基座处于一水平状态或一非水平状态，并且这些第一驱动组件可根据该水平传感器所检测的水平状态以同步驱动这些悬吊组件，或根据该非水平状态而分别驱动这些悬吊组件，以使该升降基座处于该水平状态。

主权项

一种起吊装置，用于将一晶圆盒传送至一自动化搬运系统，所述自动化搬运系统包含一悬吊式轨道及至少一位于所述悬吊式轨道上的自动搬运车，其特征在于，所述起吊装置包括：一升降基座，具有一水平传感器，所述升降基座用以感测所述升降基座处于一水平状态或一非水平状态；多个悬吊组件，设置于所述自动搬运车上，并以垂吊方式连接于所述升降基座；及多个第一驱动组件，分别连接于所述悬吊组件，并根据所述水平传感器所检测的水平状态以同步驱动所述悬吊组件，或根据所述非水平状态而分别驱动所述悬吊组件以使所述升降基座处于所述水平状态。