多晶硅还原炉的绝缘隔热结构

摘要

本实用新型是关于一种多晶硅还原炉的绝缘隔热结构，涉及多晶硅生产领域，目的在于解决因电极结构配合间隙较大，密封效果差造成的接地停车及消除安全隐患。主要采用的技术方案为:多晶硅还原炉的绝缘隔热结构包括电极座以及依次套装在电极体上的绝缘瓷环、四氟套，所述绝缘瓷环在与四氟套的接触端设置有一凸起部分，所述四氟套在与绝缘瓷环的接触端设置有一个凹槽，用于放置所述凸起部分，该结构还包括:上密封垫片，其套装在所述电极体上，位于电极体上端和绝缘瓷环之间；下密封垫片，其套装在所述电极体上，位于绝缘瓷环与电极座之间。

主权项

一种多晶硅还原炉的绝缘隔热结构，其特征在于,包括电极座以及依次套装在电极体上的绝缘瓷环、四氟套，所述绝缘瓷环与四氟套的接触端设置有一凸起部分，所述四氟套与绝缘瓷环的接触端设置有一个凹槽，用于放置所述凸起部分；还包括:上密封垫片，其套装在所述电极体上，位于所述电极体上端和所述绝缘瓷环之间；下密封垫片，其套装在所述电极体上，位于所述绝缘瓷环与电极座之间。