发明名称 运送基板承载件的方法与设备
摘要 本发明提供一种适于运送物件的输送器设备。该输送器设备具有带状物部分以及多个T形加劲肋,而带状物部分包括多个狭缝,T形加劲肋则在狭缝中延伸。可用延伸穿过在各个带状物部分的斜向形成的末端的狭缝的多个T形加劲肋,来将带状物部分迭接在一起。本发明的方法描述为多种其他实施态样。
申请公布号 CN101835698B 申请公布日期 2015.04.15
申请号 CN200880112620.7 申请日期 2008.10.21
申请人 应用材料公司 发明人 维内·K·沙;杰弗里·C·赫金斯
分类号 B65G15/44(2006.01)I 主分类号 B65G15/44(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国;钟强
主权项 一种用于运送基板承载件的输送器设备,包括:多个带状物部分,每个带状物部分具有至少一个端部和在带状物部分两侧的完个平滑连续表面,用多个T形加劲肋将所述带状物部分迭接在一起,且所述T形加劲肋延伸穿过各个所述带状物部分,其中所述带状物部分包括狭缝,其中通过将所述T形加劲肋的长度的一部分插入到两个带状物部分中的狭缝,将所述带状物部分的端部固定在一起,所述带状物部分沿着所述T形加劲肋的长度的一部分完全地包围所述T形加劲肋,其中所述T形加劲肋包括直立部分和顶冠部;以及多个支撑轮,所述多个支撑轮适于沿着所述T形加劲肋的表面滚动。
地址 美国加利福尼亚州