| 发明名称 | 一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T<sub>0°</sub>；2)根据1)中测得的透射率T<sub>0°</sub>计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值<img file="DDA0000094398250000011.GIF" wi="75" he="57" />和<img file="DDA0000094398250000012.GIF" wi="78" he="58" />；3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值<img file="DDA0000094398250000013.GIF" wi="77" he="58" />和<img file="DDA0000094398250000014.GIF" wi="78" he="58" />；4)计算偏振特性因子p；5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值<img file="DDA0000094398250000015.GIF" wi="55" he="54" />和<img file="DDA0000094398250000016.GIF" wi="55" he="54" />；6)计算测试样品S光和P光的透射率T<sub>S</sub>和T<sub>P</sub>。与现有技术相比，本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响，提高了测量精度，而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换，降低了对偏振器的精度要求，从而降低了测量成本。 | ||
| 申请公布号 | CN103018213B | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201110288811.2 | 申请日期 | 2011.09.26 |
| 申请人 | 同济大学 | 发明人 | 刘永利;张锦龙;程鑫彬;马彬;焦宏飞;丁涛;韩金;张艳云;王玲;王占山 |
| 分类号 | G01N21/59(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/59(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人 | 宣慧兰 |
| 主权项 | 一种光学薄膜0‑70°入射的宽光谱透射率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T<sub>0</sub><sub>°</sub>，具体为：11)调整起偏器，使光线沿X轴方向偏振，通过探测器测量入射光的光强I<sub>o</sub>；12)在光路中设置并调整基板，使基板上的光线入射角为0°，测量经过基板的光强I<sub>0</sub><sub>°</sub>；13)计算基板透射率T<sub>0</sub><sub>°</sub>，计算公式为：T<sub>0</sub><sub>°</sub>＝I<sub>0</sub><sub>°</sub>/I<sub>O</sub>；14)根据基板透射率T<sub>0</sub><sub>°</sub>计算基板折射率n；2)根据1)中测得的透射率T<sub>0</sub><sub>°</sub>计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值<img file="FDA0000587200130000011.GIF" wi="92" he="78" />和<img file="FDA0000587200130000012.GIF" wi="122" he="78" />3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值<img file="FDA0000587200130000013.GIF" wi="94" he="85" />和<img file="FDA0000587200130000014.GIF" wi="124" he="81" />具体为：31)调整基板，使光线的入射面垂直偏振方向，测量S光的光强<img file="FDA0000587200130000015.GIF" wi="111" he="77" />并根据公式<img file="FDA0000587200130000016.GIF" wi="287" he="83" />计算透射率<img file="FDA0000587200130000017.GIF" wi="120" he="83" />32)以光路方向为轴，旋转基板，使光线的入射面平行偏振方向，测量P光的光强<img file="FDA00005872001300000119.GIF" wi="120" he="77" />并根据公式<img file="FDA0000587200130000018.GIF" wi="290" he="84" />计算透射率<img file="FDA0000587200130000019.GIF" wi="119" he="85" />4)计算偏振特性因子p,计算公式为：<img file="FDA00005872001300000110.GIF" wi="330" he="156" />5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值<img file="FDA00005872001300000111.GIF" wi="68" he="77" />和<img file="4.GIF" wi="28" he="29" />具体为：51)调整测试样品，使光线的入射面垂直偏振方向，测量S光的光强<img file="FDA00005872001300000113.GIF" wi="88" he="75" />并根据公式<img file="FDA00005872001300000114.GIF" wi="252" he="78" />计算透射率<img file="FDA00005872001300000115.GIF" wi="99" he="78" />52)以光路方向为轴，旋转测试样品，使光线的入射面平行偏振方向，测量P光的光强<img file="FDA00005872001300000116.GIF" wi="91" he="73" />并根据公式<img file="FDA00005872001300000117.GIF" wi="248" he="75" />计算透射率<img file="5.GIF" wi="28" he="29" />6)计算测试样品S光和P光的透射率T<sub>S</sub>和T<sub>P</sub>，计算公式为：<img file="FDA0000587200130000021.GIF" wi="755" he="323" /> | ||
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