微结构材料机械性能退化检测方法

摘要

本发明公开了一种微结构材料机械性能退化检测方法，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移。本发明微结构材料机械性能退化检测方法测量精度高、测量效率高。

主权项

一种微结构材料机械性能退化检测方法，其特征在于，包括以下步骤，保持环境温度不变，确定固定电极与移动电极之间的闭合电压；选取直流偏置电压，使得直流偏置电压小于闭合电压，并将该直流偏置电压施加于固定电极与移动电极之间，待移动电极在静电力的作用下达到平衡后，监控测量移动电极在平面内的运动位移；在微结构材料经受振动、冲击或进行循环运动后，监控测量移动电极在平面内的运动位移；重复上述步骤，比较移动电极在平面内的运动位移可获得微结构材料的疲劳状态或残余应力的变化信息。