阻气性塑料成型体及其制造方法

摘要

本发明的目的为提供一种具有高阻气性的阻气性塑料成型体及其制造方法。本发明涉及的阻气性塑料成型体是一种具备塑料成型体和设置于塑料成型体表面的阻气薄膜的阻气性塑料成型体，所述阻气薄膜具有含Si层，所述含Si层含有硅(Si)、碳(C)、氧(O)和氢(H)作为组成元素，并且以(数学式1)表示的含Si率为40.1%以上。(数学式1)：含Si率[%]＝｛(Si含量[atomic%])/(Si、O和C的合计含量[atomic%])｝×100在数学式1中，Si、O或C的含量为Si、O和C这3种元素内部的含量。

主权项

一种阻气性塑料成型体，其具有塑料成型体和设置于该塑料成型体表面的阻气薄膜，其特征在于，所述阻气薄膜是通过使用乙烯基硅烷、二硅烷基乙炔或2‑氨基乙基硅烷作为原料气的发热体CVD法来形成的，具有含Si层，所述含Si层含有硅、碳、氧和氢作为组成元素，并且以数学式1表示的含Si率为40.1％以上，数学式1：含Si率[％]＝{(Si含量[原子％])/(Si、O和C的合计含量[原子％])}×100在数学式1中，Si、O或C的含量为Si、O和C这3种元素内部的含量。