SOUND TRANSDUCER AND MICROPHONE USING SAME

摘要

음향 센서(11)는, 반도체 기판(21)의 윗면에 진동막(22) 및 고정막(23)이 형성되고, 진동막(22)의 진동 전극(220)과 고정막(23)의 고정 전극(230) 사이의 정전 용량의 변화에 의해, 음파를 전기 신호로 변환하여 출력한다. 음향 센서(11)는, 진동 전극(220) 및 고정 전극(230)의 적어도 한쪽이 분할되어 있고, 분할된 복수의 전극으로부터 복수의 전기 신호를 각각 출력하고 있다.