具有界面部分的多块溅射靶及相关方法和物品

摘要

本发明公开了一种溅射靶，包括至少两个固结块，每个块包括一合金，该合金包含第一金属(如难熔金属，如钼，其存在的量按重量计大于约30％)和至少一种另外的合金元素；以及至少两个固结块之间的一接合部分，处理该接合部分不存在因熔融结合一添加的松散粉末粘接剂产生的微结构。一种用于制造靶的方法，包括热等静压压制(温度在1080℃以下)，固结预制块，在压制之前，在固结粉末金属块之间放置至少一个连续的固体界面部分。该至少一个连续的固体界面部分可包括一冷喷射体，一块、一烧结预制件、一压实粉末体(如拼贴)或其任意组合，其中冷喷射体可以是将粉末冷喷射沉积到表面上的块。

主权项

一种溅射靶，包括：a.包含至少两个固结块，每个块包括一难熔金属合金和至少一种另外的合金元素，其中难熔金属合金的量按重量计大于约30％；b.至少一个源自冷喷射沉积的连续固体界面部分、一烧结的预制件、一压实的粉末主体或它们的任意组合；以及c.至少两个固结块之间的接合部分，其将各个块接合在一起以定义一靶体，该接合部分包括至少一个连续的固体界面部分，其中根据ASTM B528‑10，溅射靶连同接合部分展示出至少约400MPa的横向断裂强度。