一种硫化锌真空气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种硫化锌真空气相沉积炉，包括有一炉体，并配设炉门、料仓、发热体、隔热屏、坩埚、沉积装置、清理装置、过滤装置、真空系统和电气及电源控制系统；所述的炉体制为立式方型，带有前后双开门结构；在炉体内的四周炉体侧壁上和底部均设有发热体，炉体底部的发热体上置有托盘，在托盘上放置有坩埚，坩埚上放置有一组沉积装置。其可以使单炉硫化锌产品尺寸更大，产量更高，沉积炉热场温度均匀性好，进出料时操作方便，自动化程度高，降低操作人员工作强度，便于后期维护。

主权项

一种硫化锌真空气相沉积炉，包括有一炉体，并配设炉门、料仓、发热体、隔热屏、坩埚、沉积装置、清理装置、过滤装置、真空系统和电气及电源控制系统；其特征在于：所述的炉体制为立式方型，带有前后双开门结构；在炉体内的四周炉体侧壁上和底部均设有发热体，炉体底部的发热体上置有托盘，在托盘上放置有坩埚，坩埚上放置有一组沉积装置。