| 发明名称 | 用于光伏用途的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜的生长 | ||
| 摘要 | 一种组合物，以其总质量为100％，其包含至少97％的式Al(R<sub>1</sub>)<sub>2</sub>(OR<sub>2</sub>)的铝前体，其中R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立地选自甲基、乙基、丙基、异丙基和叔丁基；和：-200ppb至5ppm的Mo（钼）；-1000ppb至5ppm的Fe（铁）；-200ppb至5ppm的Cu（铜）；-200ppb至5ppm的Ta（钽）。 | ||
| 申请公布号 | CN103108982B | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201180042556.1 | 申请日期 | 2011.08.25 |
| 申请人 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;艾恩德霍芬理工大学 | 发明人 | N·布拉斯科;G·丁厄曼斯;W·M·M·克塞尔斯;C·拉绍;A·马德克;S·波特斯 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I | 主分类号 | C23C16/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 彭飞;林柏楠 |
| 主权项 | 组合物的用途，用于硅片基光伏太阳能电池所用的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>生长，以其总质量为100％，所述组合物包含至少97％的式Al(R<sub>1</sub>)<sub>2</sub>(OR<sub>2</sub>)的铝前体，其中R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立地选自由甲基、乙基、丙基、异丙基和叔丁基组成的组；和：‑200ppb至5ppm的Mo(钼)；‑1000ppb至5ppm的Fe(铁)；‑200ppb至5ppm的Cu(铜)；‑200ppb至5ppm的Ta(钽)。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||