含氮硅烷化合物粉末及其制造方法

摘要

本发明的目的是提供一种无需有机溶剂回收工序或小型化，同时表观密度高的含氮硅烷化合物，不经过加压成型等追加的工序，提高氮化硅制造工序的生产效率。使卤化硅烷化合物与液体氨进行反应，用液体氨洗涤、干燥得到的主要含硅二酰亚胺的含氮硅烷化合物粉末，干燥后的表观密度为0.10～0.30g/cm³，优选含有的卤成分浓度以重量基准为100ppm以下的含氮硅烷化合物粉末。使卤化硅烷化合物与液体氨进行混合反应时，卤化硅烷化合物作为无溶剂或卤化硅烷化合物浓度为50体积％以上的惰性有机溶剂的溶液，从液体氨中设置的供给口喷出、供给的含氮硅烷化合物粉末的制造方法。通过惰性气体导入反应器内，该反应器内压力比该反应器内含有的反应混合物的温度时的液体氨的蒸气压保持高0.5MPa以上是优选的。

主权项

含氮硅烷化合物粉末的制造方法，其特征在于，卤化硅烷化合物与液体氨混合反应时，卤化硅烷化合物作为无溶剂或卤化硅烷化合物浓度为50体积％以上的惰性有机溶剂的溶液，从设置在液体氨中的供给口喷出来供给。