光阻涂布设备及光阻涂布方法

摘要

本发明公开一种光阻涂布设备，包括工作台、喷嘴、喷嘴驱动装置、检测装置及控制器，待涂布的基板放置于所述工作台上，所述喷嘴驱动装置用于驱动所述喷嘴在所述工作台上的基板上方移动，所述喷嘴横跨所述基板，所述检测装置横跨所述基板且平行于所述喷嘴，所述检测装置用于检测所述基板表面凹凸起伏变化并计算出所述喷嘴与基板之间的间隙变化曲线，所述控制器根据所述检测装置计算出的所述间隙变化曲线控制所述喷嘴驱动装置，使得所述喷嘴驱动装置带动所述喷嘴移动，且按照所述间隙变化曲线调整所述喷嘴与所述基板之间的垂直距离。本发明还公开一种光阻涂布方法。能够使得涂布后的膜厚均匀一致，有助于液晶显示器件的性能的提升。

主权项

一种光阻涂布设备，用于在基板上涂布膜层，其特征在于，所述光阻涂布设备包括工作台、喷嘴、喷嘴驱动装置、检测装置及控制器，所述基板放置于所述工作台上，所述喷嘴驱动装置用于驱动所述喷嘴在所述工作台上的基板上方移动，所述喷嘴横跨所述基板，所述检测装置横跨所述基板且平行于所述喷嘴，所述检测装置用于检测所述基板表面凹凸起伏变化并计算出所述喷嘴与基板之间的间隙变化曲线，所述控制器根据所述检测装置计算出的所述间隙变化曲线控制所述喷嘴驱动装置，使得所述喷嘴驱动装置带动所述喷嘴移动，且按照所述间隙变化曲线调整所述喷嘴与所述基板之间的垂直距离。