角速度検出装置の製造方法,申请号JP20130183840-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	角速度検出装置の製造方法
摘要
申请公布号	JP5700090(B2)	申请公布日期	2015.04.15
申请号	JP20130183840	申请日期	2013.09.05
申请人		发明人
分类号	G01C19/5628;G01C19/5614;H01L41/04;H01L41/09;H01L41/113	主分类号	G01C19/5628
代理机构		代理人
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