涂布装置

摘要

本发明提供一种涂布装置，其可减少被废弃的涂布液的量且提高涂布效率。多个喷嘴包括：第一喷嘴群，在主扫描方向上隔开规定的间隔而排列；以及第二喷嘴群，相对于所述第一喷嘴群而与基板的主面平行且在副扫描方向上隔开间隔而排列。间距调整机构包括：对第一喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，对第二喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，从副扫描方向的一侧抵接于滑动格的杆，从副扫描方向的另一侧将滑动格向杆赋能的喷嘴赋能机构，以及对杆的副扫描方向的位置进行调整的驱动机构。

主权项

一种涂布装置，将涂布液涂布于基板上，所述涂布装置的特征在于包括：基板保持部，对基板加以保持；多个喷嘴，朝向所述基板连续地喷出涂布液；喷嘴安装部，安装着所述多个喷嘴；主扫描机构，在与所述基板的主面平行的主扫描方向上，使所述多个喷嘴连同所述喷嘴安装部一起相对于所述基板相对地移动；副扫描机构，在与所述基板的所述主面平行、且与所述主扫描方向交叉的副扫描方向上，使所述多个喷嘴及所述喷嘴安装部相对于所述基板相对地移动；以及间距调整机构，通过使所述多个喷嘴在所述副扫描方向上移动，而对关于所述副扫描方向相互邻接的2个所述喷嘴间的距离进行调整，且所述多个喷嘴包括：在所述主扫描方向上隔开规定的间隔而排列的第一喷嘴群，以及相对于所述第一喷嘴群而在所述副扫描方向上隔开规定的间隔排列的第二喷嘴群。