发明名称 感光性组合物及图案状透明体
摘要 本发明为一种感光性组合物及使用其的图案状透明体,所述感光性组合物含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2-醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)。此处,碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,但具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。通过本发明,提供一种感光性组合物,所述感光性组合物即便在使用近接式曝光机的情况下,也可形成与掩模尺寸为大致相同大小的图案状透明体,且可耐受40℃以上的保存或使用。
申请公布号 CN104516202A 申请公布日期 2015.04.15
申请号 CN201410487912.6 申请日期 2014.09.22
申请人 捷恩智株式会社 发明人 堀田佑策;木村佑希;近藤学
分类号 G03F7/027(2006.01)I;G03F7/008(2006.01)I 主分类号 G03F7/027(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 臧建明
主权项 一种感光性组合物,其特征在于含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2‑醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F);碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,且具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。
地址 日本东京千代田区大手町二丁目2番1号