发明名称 |
感光性组合物及图案状透明体 |
摘要 |
本发明为一种感光性组合物及使用其的图案状透明体,所述感光性组合物含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2-醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F)。此处,碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,但具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。通过本发明,提供一种感光性组合物,所述感光性组合物即便在使用近接式曝光机的情况下,也可形成与掩模尺寸为大致相同大小的图案状透明体,且可耐受40℃以上的保存或使用。 |
申请公布号 |
CN104516202A |
申请公布日期 |
2015.04.15 |
申请号 |
CN201410487912.6 |
申请日期 |
2014.09.22 |
申请人 |
捷恩智株式会社 |
发明人 |
堀田佑策;木村佑希;近藤学 |
分类号 |
G03F7/027(2006.01)I;G03F7/008(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/027(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
臧建明 |
主权项 |
一种感光性组合物,其特征在于含有:碱可溶性聚合物(A)、多官能环氧化合物(B)、具有聚合性双键的化合物(C)、光聚合引发剂(D)、1,2‑醌二叠氮化合物(E)、及溶剂(F);碱可溶性聚合物(A)是使含有具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)的自由基聚合性单体混合物聚合而获得,且具有羧基的自由基聚合性单体(a1)与其他自由基聚合性单体(a2)均不具有环氧基或氧杂环丁基。 |
地址 |
日本东京千代田区大手町二丁目2番1号 |