发明名称 半导体器件及其制造方法
摘要 一种二极管,其特征在于,包括减小的表面场效应沟槽结构;该减小的表面场效应沟槽结构包括至少两个沟槽,至少两个沟槽形成在衬底中,彼此通过衬底的连接区互相分离;连接区包括电接触区与P掺杂半导体材料层。
申请公布号 CN104518035A 申请公布日期 2015.04.15
申请号 CN201410514957.8 申请日期 2014.09.29
申请人 恩智浦有限公司 发明人 提姆·伯切尔;简·菲利普·菲舍尔
分类号 H01L29/872(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L29/872(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王波波
主权项 一种二极管,其特征在于,包括减小的表面场效应沟槽结构;该减小的表面场效应沟槽结构包括至少两个沟槽,所述至少两个沟槽形成在衬底中,彼此通过衬底的连接区互相分离;连接区包括电接触区与P掺杂半导体材料层。
地址 荷兰艾恩德霍芬