发明名称 |
接合组装装置 |
摘要 |
本发明提供一种接合组装装置,通过短时间的焊接处理来将由至少一个被接合构件与至少一个焊接材料构成的层叠体进行接合,从而获得具有层中气泡较少的焊料接合层的接合体。该接合组装装置在减压路内具备如下构件:金属线;传送台,对至少一个被接合构件和至少一个焊接材料的层叠体进行支承,并能在水平方向和垂直方向上移动;冷却板,隔着所述传送台对所述层叠体进行冷却;热板),隔着所述传送台对所述层叠体进行加热;活性种气体导入管;惰性气体导入管;以及排气口,该接合组装装置还具备通过通电来对所述金属线进行加热的加热单元、即炉外的未图示的交流或直流功率供电源。 |
申请公布号 |
CN104517860A |
申请公布日期 |
2015.04.15 |
申请号 |
CN201410394901.3 |
申请日期 |
2014.08.12 |
申请人 |
富士电机株式会社 |
发明人 |
斋藤俊介;渡边裕彦;小野真裕;大西一永;渡边孝志;佐野真二 |
分类号 |
H01L21/52(2006.01)I;B23K1/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/52(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
俞丹 |
主权项 |
一种接合组装装置,其特征在于,所述接合组装装置的减压炉内具备如下构件:金属线;传送台,该传送台对由至少一个被接合构件与至少一个焊接材料构成的层叠体进行支承,且能在水平方向及垂直方向移动;水平方向上分开设置的冷却板及热板,所述冷却板能隔着所述传送台对所述层叠体进行冷却,所述热板能隔着所述传送台对所述层叠体进行加热;活性种生成气体导入管;惰性气体导入管;以及排气口,该接合组装装置还包括对所述金属线进行加热的加热单元。 |
地址 |
日本神奈川县 |