一种AlB₂型WB₂硬质涂层及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种AlB₂型WB₂硬质涂层及其制备工艺，属于金属材料表面沉积硬质耐磨涂层技术领域。通过调控涂层组成成分、沉积温度和衬底偏压，采用直流磁控溅射的方法，在高速钢或硬质合金基体上成功制备了WB₂（AlB₂型）硬质耐磨涂层。该结构涂层呈现较高的显微硬度、较低的平均摩擦系数及磨损率。本发明所涉及的这种WB₂（AlB₂型）硬质涂层被成功合成，可显著改善刀具或工件表面的硬度及耐磨性，对于超硬硼化物涂层的理论研究和实际应用具有重要意义。

主权项

一种AlB₂型WB₂硬质涂层，其特征在于：所述AlB₂型WB₂硬质涂层沉积在高速钢或硬质合金基材表面，涂层与基材的结合力大于50N，涂层硬度≥40GPa。