| 发明名称 | 电子显微镜以及试样移动装置 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于减少因密封保持为真空的试样室与大气的O型圈的变形而产生的试样的漂动。一种试样支架(2)插入镜体(1)的电子显微镜，其特征在于，具备试样移动装置，该试样移动装置具备：气密上述电子显微镜的镜体(1)与上述试样支架(2)的O型圈(4)；在上述试样支架(2)的长边方向上滑动并在长边方向上对试样支架进行定位的滑筒(30)；气密上述滑筒(30)与镜体(1)的波纹管(32)；在试样支架(2)的长边方向上驱动滑筒(30)的单元(10)；以及在长边方向上对试样支架(2)进行定位的抵接部件(40)，并且具备连接上述抵接部件(40)与上述滑筒(30)的弹性体(31)。 | ||
| 申请公布号 | CN104520964A | 申请公布日期 | 2015.04.15 |
| 申请号 | CN201380041012.2 | 申请日期 | 2013.06.26 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 菊池秀树;上田浩大;斋藤浩一郎 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 丁文蕴;金成哲 |
| 主权项 | 一种电子显微镜，试样支架插入镜体，其特征在于，具备试样移动装置，所述试样移动装置具备：气密所述电子显微镜的镜体与所述试样支架的O型圈；在所述试样支架的长边方向上滑动并在长边方向上对试样支架进行定位的滑筒；气密所述滑筒与镜体的波纹管；在试样支架长边方向上驱动滑筒的单元；以及在长边方向上对试样支架进行定位的抵接部件，并且具备连接所述抵接部件与所述滑筒的弹性体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||