扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法

摘要

在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

主权项

一种扫描型电子显微镜装置的摄影方法，其特征在于，包含以下的步骤：输入试样上的评价点的坐标的步骤；输入在该试样上形成的图形的设计数据的步骤；根据该设计数据，多次决定包含用于对该评价点进行摄影的摄影点的摄影顺序的步骤，所述摄影点是寻址点、自动聚焦点、自动标记点、自动亮度对比度点中的任意一个；根据在该决定的多个摄影顺序中包含的第一摄影顺序，进行摄影的步骤；以及根据基于该第一摄影顺序进行摄影得到的摄影点或评价点的摄影结果或处理结果，决定是否根据该决定的多个摄影顺序中包含的第二摄影顺序进行摄影的步骤。