一种探针卡

摘要

本实用新型提供一种探针卡，该探针卡至少包括：具有上下表面的基板；垂直固定于所述基板上表面的若干方波形悬臂；所述方波形悬臂由若干横臂和纵臂交错连接而成；其中相邻两个所述横臂之间固定有支撑部件；所述悬臂的自由端设有尖端。本实用新型的所述探针卡在每相邻两个横臂之间设有支撑部件使得在所述基板的上表面施加压力的同时，所述方波形悬臂不至于由于受力不均匀而导致变形，从而避免由于悬臂的变形而使得探针与晶圆上焊垫相互挤压导致各自损坏，并且造成测试无效。

主权项

一种探针卡，其特征在于，所述探针卡至少包括：具有上下表面的基板；垂直固定于所述基板上表面的若干方波形悬臂；所述方波形悬臂由若干横臂和纵臂交错连接而成；其中相邻两个所述横臂之间固定有支撑部件；所述悬臂的自由端设有尖端。