一种矩形波导微波等离子体光源

摘要

本实用新型公开了一种矩形波导微波等离子体光源，包括矩形波导谐振腔，载气模块，调节模块，光路模块，电路控制系统，维持气控制系统，样品载气控制系统。本实用新型提供了一种矩形波导微波等离子体光源，激发能量可以从200瓦到数千瓦，在电路控制系统的作用下，微波能量在谐振腔中将通过的载气电离形成等离子体，这种等离子体含有样品光谱信息并可以通过光路模块传递出来，以实现对介质气中的物质进行分析的目的。

主权项

一种矩形波导微波等离子体光源，其特征在于，包括：矩形波导谐振腔；用于将微波能量输送到矩形波导谐振腔中的电路控制系统，连接于所述矩形波导谐振腔的一侧端面上；载气模块，包括连接至维持气控制系统并将维持气输送至矩形波导谐振腔内的维持气输送通道，以及连接至样品载气控制系统并将样品载气输送至矩形波导谐振腔内的样品载气输送通道；用于将维持气与样品载气的混合气在矩形波导谐振腔内受微波激发产生微波等离子体时所发出的光信号导出至分析仪器的光路模块；用于向矩形波导谐振腔内提供维持气的维持气控制系统；及用于向矩形波导谐振腔内提供样品载气的样品载气控制系统。