发明名称 基于超声定位的激光加工装置及加工方法
摘要 一种基于超声定位的激光加工装置及加工方法,该基于超声定位的激光加工装置,包括:一加工平台;一夹持装置,其位于加工平台的上方,该夹持装置包括横向夹持连接部和纵向夹持连接部,该横向夹持连接部和纵向夹持连接部相互枢接;一激光头,其枢接在夹持装置的横向夹持连接部上,并位于加工平台的上方;一超声测距装置,其枢接在夹持装置的纵向夹持连接部上。本发明可保证激光加工质量,提高加工精度,并且能够快速方便的确定加工时离焦量的变化情况。
申请公布号 CN102974937B 申请公布日期 2015.04.15
申请号 CN201210450849.X 申请日期 2012.11.12
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 赵伟芳;林学春;于海娟;李晋闽
分类号 B23K26/046(2014.01)I;B23K26/21(2014.01)I;B23K26/70(2014.01)I 主分类号 B23K26/046(2014.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种基于超声定位的激光加工方法,该加工方法是使用一种基于超声定位的激光加工装置,该装置包括:一加工平台;一夹持装置,其位于加工平台的上方,该夹持装置包括横向夹持连接部和纵向夹持连接部,该横向夹持连接部和纵向夹持连接部相互枢接;该夹持装置的横向夹持连接部上有一横向滑槽,便于夹持装置的纵向夹持连接部滑移;并且该夹持装置的纵向夹持连接部上有一纵向滑槽,便于枢接在夹持装置纵向夹持连接部的超声测距装置滑移;一激光头,其枢接在夹持装置的横向夹持连接部上,并位于加工平台的上方;一超声测距装置,其枢接在夹持装置的纵向夹持连接部上;在激光头的光路上有一透镜组,该透镜组将激光头发出的光聚焦;该加工方法包括如下步骤:步骤1:将加工工件放置于加工平台上,并且用机械的方法将加工工件清理规整;步骤2:将激光头移动至加工工件的上方位置,打开超声测距装置,通过超声测距装置的测量以及激光器的已知焦距计算得到激光加工的离焦量;然后调节激光头的高度位置以获得需要的激光加工的离焦量;固定此时激光头的高度位置,并设置此时的超声测距装置测得的值为标准值;步骤3:设定焊接速度,并且根据超声测距装置与激光束的水平距离,计算得到控制装置的相应延迟时间;步骤4:开始利用激光器的激光头来加工所述加工工件,加工过程中,由于所述超声测距装置能时时测量所述超声测距装置与加工工件表面的距离,当加工工件表面不平整时,控制装置通过所述超声测距装置的时时测量值与所述标准值的差值就能计算出所述激光头的相应的高度调整值,所述控制装置在所述延迟时间后能相应的给出调整激光头的高度位置的信号,从而保持激光加工的离焦量保持恒定。
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