摘要 |
<p>전자 압력-감지 디바이스(100)는 기판(110) 상에 위치된 트랜지스터(105)를 포함한다. 디바이스는 또한, 트랜지스터 근처인 기판의 접촉 영역(125)을 터치하도록 구성되는 팁(120)을 가지는 링커 암(115)을 포함한다. 디바이스는 또한, 링커 암에 기계적으로 결합되는 압력 변환기(130)를 포함한다. 압력 변환기는 압력 변화에 응답하여, 팁이 트랜지스터의 전기 도전성을 변경할 수 있는 힘을 전달하게 하도록 구성된다.</p> |