发明名称 Improvements in or relating to apparatus for and methods of manufacturing electrical circuit elements
摘要
申请公布号 GB1033897(A) 申请公布日期 1966.06.22
申请号 GB19620047516 申请日期 1962.12.17
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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