发明名称 芯片大功率器件管脚结构
摘要 芯片大功率器件管脚结构,包括漏极管脚(1)、源极管脚(2)、与源极管脚连接的第一金属电极(3)、与漏极管脚连接的第二金属电极(4)、其特征在于,所述源极管脚和漏极管脚分别位于功率管阱(5)相对的一对边界,所述第一金属电极和第二金属电极属于同一金属层,第一金属电极与第二金属电极成互补的锯齿形状。采用本发明所述芯片大功率器件管脚结构,金属电极为交错式锯齿设计,在整个功率管阱源漏电流交错分布,提高了电流均匀性,并对功率管的散热有利,提高了功率管的工作性能。
申请公布号 CN104517923A 申请公布日期 2015.04.15
申请号 CN201310453488.9 申请日期 2013.09.29
申请人 谢超 发明人 谢超
分类号 H01L23/49(2006.01)I 主分类号 H01L23/49(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 芯片大功率器件管脚结构,包括漏极管脚(1)、源极管脚(2)、与源极管脚连接的第一金属电极(3)、 与漏极管脚连接的第二金属电极(4)、其特征在于,所述源极管脚和漏极管脚分别位于功率管阱(5)相对的一对边界,所述第一金属电极和第二金属电极属于同一金属层,第一金属电极与第二金属电极成互补的锯齿形状,所述第一金属电极和第二金属电极为芯片顶层金属。
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