具有位于透明基层上方的包括孔口或开口的抛光表面层的抛光垫

摘要

描述了具有位于透明基层上方的包括孔口或开口的抛光表面层的抛光垫。在一示例中，一种用于抛光衬底的抛光垫包括具有球形顶面和透明区域的基层。抛光表面层附接到基层的球形顶面上。该抛光表面层具有抛光表面和背面。在该抛光垫中设置有从抛光表面层的背面贯穿到抛光表面的孔口，并且该孔口与基层的透明区域对准。该基层在抛光表面层的背面为孔口提供了不能渗透的密封。还描述了制作这种抛光垫的方法。

主权项

一种用于抛光衬底的抛光垫，所述抛光垫包括：基层，所述基层具有球形顶面和透明区域；附接到所述基层的所述球形顶面的抛光表面层，所述抛光表面层具有抛光表面和背面；和设置在所述抛光垫中的孔口，所述孔口从所述抛光表面层的背面贯穿到其抛光表面，其中所述基层在所述抛光表面层的背面为所述孔口提供不能渗透的密封。