一种金属薄膜厚度测试装置

摘要

本实用新型涉及一种金属薄膜厚度测试装置，包括紧压在待测的薄膜样品(11)上的电解池(9)，与电解池(9)连接的储液罐(6)，内部储存测试用的电解液(7)，储液罐(6)与电解池(9)的连接处设有节流阀(4)，电解池(9)内设有阴极电极(8)，侧部设置导电铜柱(2)，该导电铜柱(2)上套设有与电解池(9)接触连接的阳极导线接头(3)。与现有技术相比，本实用新型具有测试效率及精度较高、方便使用等优点，另外还节约了测试成本。

主权项

一种金属薄膜厚度测试装置，其特征在于，该测试装置包括紧压在待测的薄膜样品(11)上的电解池(9)，与电解池(9)连接的储液罐(6)，内部储存测试用的电解液(7)，所述的储液罐(6)与电解池(9)的连接处设有节流阀(4)，所述的电解池(9)内设有阴极电极(8)，侧部设置导电铜柱(2)，该导电铜柱(2)上套设有与电解池(9)接触连接的阳极导线接头(3)。