半导体器件

摘要

一目的在于，在含氧化物半导体层的薄膜晶体管中，减少该氧化物半导体层与电连接至该氧化物半导体层的源和漏电极层之间的接触电阻。源和漏电极层具有两个或更多层的层叠结构，其中与氧化物半导体层相接触的层使用其功函数低于氧化物半导体层的功函数的金属或含有这样的金属的合金而被形成。可使用选自Al、Cr、Cu、Ta、Ti、Mo、或W的元素、或含有这些元素中的任意作为组分的合金、含有这些元素中的任意的组合的合金、等形成在源和漏电极层中除了与氧化物半导体层相接触的层之外的层。

主权项

一种半导体器件，包括：氧化物半导体层；含有第一混合层的源电极层；以及含有第二混合层的漏电极层；其中所述第一混合层和第二混合层的每一个包括具有低于所述氧化物半导体层的功函数的第一金属、或含有所述第一金属的合金其中所述第一混合层和第二混合层的每一个进一步包括第二金属，且其中所述第一混合层和第二混合层的与所述氧化物半导体层相接触的区域，相比所述第一混合层和第二混合层的不与所述氧化物半导体层相接触的区域，具有较大浓度的所述第一金属或所述合金。