| 摘要 |
본 발명은 란들의 난각들을 특성화하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로서, 상기 란은 지지되며, - 상기 난각을 변형시키는 단계, - 스캐닝 신호를 갖는 자가 혼합 레이저 진동계 (SMLV)의 레이저 빔으로 상기 난각을 스캐닝함으로써, 반사광의 반사광 신호를 얻는 단계, - 상기 SMLV로 상기 스캐닝 신호 및 상기 반사 신호를 가공함으로써, 균열 정보를 갖는 혼합된 신호를 획득하는 단계, - 상기 스캐닝 동안 상기 란을 상기 SMLV에 대해서 이동시키는 단계, - 상기 신호들을 상기 란들에 대해서 미리 정해진 기준 및 특성들과 비교함으로써, 비교 데이터를 획득하는 단계, 및 - 상기 비교 데이터에 기초하여 상기 난각들을 특성화하는 단계를 포함하는 장치 및 방법에 관한 것이다. |
