| 摘要 |
本発明は、粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーター、例えば粒子のエネルギー、開始方向、開始位置、又はスピンに関するパラメーターを決定するための方法に関する。上記の方法は、荷電粒子のビームをレンズシステム（１３）によって測定領域の入口へ導くステップと、測定領域内で上記の少なくとも一つのパラメーターの指標となる粒子の位置を検出するステップと、を備える。さらに、上記の方法は、粒子ビームが測定領域に入射する前に、同じ座標方向に少なくとも二回粒子ビームを偏向させるステップを備える。それによって、測定領域（３）の入口（８）における粒子ビームの位置及び方向の両方は、試料（１１）の物理的な操作の必要性をある程度除くように制御されることが可能である。次に、これによって、エネルギー測定におけるエネルギー分解能を改善できるように、試料が効率的に冷却されることが可能になる。 |
