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发明名称
Vorrichtung zum Konstanthalten der Temperatur eines bei einer pyrolitischen Zersetzung einer Halbleiterverbindung benutzten Traegers
摘要
申请公布号
DE1221612(B)
申请公布日期
1966.07.28
申请号
DE1962S081483
申请日期
1962.09.15
申请人
SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
STUT HANS
分类号
G05D23/27
主分类号
G05D23/27
代理机构
代理人
主权项
地址
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